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氦质谱检漏仪系统

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氦质谱检漏仪的原理

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氦质谱检漏仪的原理

发布日期:2018-12-11 作者:迪泰真空 点击:

        随着科技的迅猛发展,氦质谱检仪及其应用技术也在不断发展和究善。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的氦质谱检涮仪,广泛应用丁航空航天,电力电子,汽车,医药等各个行业,综观氦质谱检漏仪原理的性能特点发现,氦质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽最程、等先进方向发展,这些特点很好地满足了当前检漏应用的需求,也极大地推动了氮质谱检漏技术的不断发展。


       氦质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束,以一定能量注入质最分析器,

目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质最分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。

氦质谱检漏仪原理

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