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氦质谱检漏仪系统

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四极质谱仪真空检漏方式的优缺点及注意事项

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四极质谱仪真空检漏方式的优缺点及注意事项

发布日期:2018-09-26 作者:迪泰真空 点击:

       使用四极质谱仪,可分析真空腔体内的残留气体,通过实时分析气体成份,也可以实现真空检漏。四极质谱仪主体主要由离子源,同时数据分析处理软件也非常重要。

       四极质谱仪的核心是四极电极,直流电压和高频交流电压重叠±(U+Vcostω),U是直流电压,V是交流电压。离子源产生的离子经过5~10V加速后沿z方向入射,受到高频电压作用后一边在x和y方向振动一边沿z方向前进。离子质荷比和交流电压的关系为

离子质荷比和交流电压的关系

  式中 K———常数;

  V———高频电压的振幅(几kV~10kV);

  f———高频电压的频率(通常1MHz~几 MHz);

  r0———四极电极内接圆的半径(通常几mm~7mm)。

  因此扫描交流电压后,对应质荷比的离子才能穿过四极电极,最终到达离子检测器。四极质谱仪的主要参数为检测质量范围、感度和扫描速度。

  即使是超高真空腔体,也会由于漏气、透气和真空中物体的气体放出等原因,造成腔体内有多种残留气体。图2是笔者实验室真空系统

  使用四极质谱仪检漏,也同样可以像氦质谱检漏仪那样从外部吹氦气,如果存在漏点,则分析结果中氦气对应的峰值会迅速升高。

  上述检漏是比较高级的方法,如果没办法使用氦质谱检漏仪真空检漏或四极质谱仪真空检漏,则可以使用酒精进行简单的检漏。用注射器向要检测的部位喷射少量酒精,同时观测真空计的显示变化。如果该部位漏气,则真空计的显示数值会发生突然变化。

       氦质谱检漏是一种精度很高的不停机查漏方法,具有灵敏度高、抗干扰、不污染环境(以前的卤素检漏污染环境) 、不危及安全生产(以前的烛光法不适用于氢冷发电机)等优点。

  正常运行时,空气经过漏点被吸入凝汽器后被真空泵抽出,排至大气。试验时在真空泵入口的空气管上接一根软管至氦质谱检漏仪,在真空系统的漏点处喷氦气,由于氦质谱检漏仪系统中工作时能形成比水环式真空泵更高的真空,因此,漏入真空泵入口管上氦气与空气的混合元体,有一部分被吸入到氦质谱检漏仪,由于氦分子质量与其他分子质量不一样,通过磁场产生的偏转磁力不一样,仪器上设计有一狭缝,刚好使氦分子通过而其他分子无法通过,这样,通过狭缝后的氦分子打在收集板上,通过靶板计数,即可知道通过的分子数泄漏量的相对大小。

氦质谱检漏仪品牌

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