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氦质谱检漏仪系统

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氦质谱检漏仪品牌的进展

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氦质谱检漏仪品牌的进展

发布日期:2018-09-06 作者:迪泰真空 点击:

在科学技术的不断发展的时代,氦质及其应用技术也在不断的发展与完善。这主要由两方面的因素所决定:一方面,检漏应用技术不断的对检漏仪提出新的要求,迫使仪器自身的更新;另一方面,检漏技术也在随时随地补充现有检漏仪在应用过程中存在的某些不足,因此二者的关系是相互补充、相互促进的。

氦质谱检漏仪品牌的进展:

经过近半个世纪的努力,今天的氦质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。

集中体现在如下几个方面:

(1)便携式:最近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。

(2)高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。

(3)自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。

(4)全无油的干式检漏:有些国家生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。

(5)检漏范围宽:现今生产的四极检漏仪,质量范围很宽,不仅可检测氦气,而且能检测其它气体。

分子泵排气系统取代扩散泵排气系统,不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题,而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同,分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。

例如:瑞士、日本采用改变分子泵转速来达到此目的,且提高检漏灵敏度。

另外,逆扩散检漏方式,实现了高压强下检漏,也为正压吸枪检漏提供了良好的条件。

氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏效率高,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子,在室内来回地振荡,并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子,这些氦离子在加速电场作用下进人磁场,由于洛伦兹力作用产生偏转,形成圆弧形轨道,改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中最常用的两种方法。

氦质谱检漏仪品牌

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