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氦质谱检漏仪系统

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氦质谱检漏仪是什么?

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氦质谱检漏仪是什么?

发布日期:2018-08-08 作者:迪泰真空 点击:

氦质谱检漏仪系统是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器,首先,因为氦气的最外层的电子是2,而且氦只有一层电子,第一层电子是2,这意味着达到了稳定结构,所以氦气的化学性质相对来说比较稳定。不易发生反应、爆炸等。在一些比较值钱的设备:例如飞机、宇宙飞船等都喜欢用氦气作为检漏用气。但氦气在自然界的储量少,价钱也比较昂贵,所以为了节约成本,一些企业也就选择氢和氮的混合气体作为检漏用气,或者直接用氮气作为检漏用气。

      氦气在在半导体中的检漏作用:

      为了防止半导体器件、集成电路等元器件的表面因玷污水汽等杂质而导致性能退化,就必须采用管壳来密封。但是在管壳的封接处或者引线接头处往往会因为各种原因而产生一些肉眼难以发现的小洞,所以在元器件封装之后,就需要采取某些方法来检测这些小洞的存在与否。 氦气检漏就是采用氦气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。因为氦原子的尺寸很小,容易穿过小洞而进入到管壳内部,所以这种检测方法能够检测出尺寸很小的小洞(即能够检测出漏气速率约为10−11~10−12cm3/sec的小洞),灵敏度可与放射性检漏方法匹敌,但要比放射性检漏方法简便。 

      氦气检漏试验的方法:首先把封装好的元器件放入充满氦气的容器中,并加压,让氦气通过小洞而进入管壳中;然后取出,并用压缩空气吹去管壳表面的残留氦气;接着采用质谱仪来检测管壳外表所漏出的氦气。 

  氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9~10-12Pam3/s,广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较,本底噪声显著减小。其灵敏度可达10-14~10-15Pam3/s,适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局,被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位,因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点。适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏,其灵敏度可达10-12Pam3/s。

氦质谱检漏仪系统



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